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全自動(dòng)倒角機(jī)MET-5600

直接聯(lián)系

江蘇晶工半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

江蘇

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

江蘇晶工

型號(hào)：

全自動(dòng)倒角機(jī)MET-5600

關(guān)注度：

132

產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品說(shuō)明

全自動(dòng)晶圓倒角機(jī)MET-5600為半導(dǎo)體晶圓材料的邊形倒角設(shè)備，具有豐富的可選功能。設(shè)備具有高精度，高質(zhì)量磨削表面，極小料損，晶向定位準(zhǔn)確，運(yùn)行狀態(tài)穩(wěn)定等特點(diǎn)。設(shè)備兼容性強(qiáng)，直徑4寸、6寸、8英寸都可加工，適用于硅、磷化銦、砷化鎵、碳化硅、藍(lán)寶石、鍵合晶圓、玻璃晶圓等晶圓材料。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

靈活
① 可加工4-6-8英寸不同材料的晶圓
② 尺寸切換方便
③ 系統(tǒng)軟件可根據(jù)客戶工藝要求進(jìn)行設(shè)置

高精
自主研發(fā)的精密主軸精度可達(dá)1um

穩(wěn)定
自主研發(fā)的軟件系統(tǒng)采用非接觸式對(duì)中和測(cè)量方式，確保設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定。

加工規(guī)格多
預(yù)留9個(gè)小圖的空位

產(chǎn)品規(guī)格

項(xiàng)目	參數(shù)
晶圓尺寸	2-3-4-6英寸、4-6-8英寸（IF,OF,Notch）
晶圓厚度	250um-1000um
工位	雙工位
晶圓參考面形狀	R形、雙R形、T型、臺(tái)階狀等
設(shè)備尺寸和重量	L2200×W1500×H2200mm；3000kg
磨削X/Y/Z軸精度	X.Y.Z軸精度：±1um
	陶瓷吸盤平面精度：±3um
	吸盤軸徑向精度：±1um
	砂輪軸徑向精度：±1um
砂輪外徑溝部	φ200mm
砂輪外徑	φ202mm
砂輪安裝內(nèi)徑	φ30mm
砂輪厚度	20mm
砂輪轉(zhuǎn)速	4000r/min或8000r/min（根據(jù)客戶要求選擇）
Notch砂輪轉(zhuǎn)速	50000r/min或160000r/min（根據(jù)客戶要求選擇）
校正機(jī)構(gòu)
測(cè)量方式	非接觸式或機(jī)械測(cè)厚（根據(jù)客戶要求選擇）
分辨率	1μm
對(duì)中精度	20μm
清洗機(jī)構(gòu)
清洗方式	旋轉(zhuǎn)清洗
干燥方式	離心干燥
裝載機(jī)構(gòu)
類型	卡塞裝載
裝載工位	4盒

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