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輪廓儀WEP-200E

直接聯(lián)系

江蘇晶工半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

江蘇

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

江蘇晶工

型號(hào)：

輪廓儀WEP-200E

關(guān)注度：

132

產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品說明

輪廓儀WEP-200E為半導(dǎo)體晶圓材料的邊形檢測(cè)設(shè)備，主要用于對(duì)倒角后的晶圓邊緣進(jìn)行輪廓檢測(cè)，確保晶圓倒角后能達(dá)到客戶要求的工藝精度。該設(shè)備采用非接觸式測(cè)量方式，可測(cè)量邊緣倒角形狀、面幅、邊緣崩邊情況等?？勺詣?dòng)存儲(chǔ)測(cè)量結(jié)果，需要時(shí)可隨意導(dǎo)出測(cè)量數(shù)據(jù)，專業(yè)化水平高，適用于2/3/4/5/6/8/12寸不同材料的晶圓。

產(chǎn)品技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)

以下圖R型倒角為例：面幅度X1、X2測(cè)試精度±10um；R角度測(cè)試精度±10um；圓角幅值Y1、Y2精度控制在±10um以內(nèi)；角度A1、A2測(cè)試偏差±0.5°；notch深度Vh和notch寬度Vw精度控制在±1um以內(nèi)等。

技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)

產(chǎn)品規(guī)格

項(xiàng)目	參數(shù)
型號(hào)	WEP-200E
晶圓尺寸	2-6英寸、4-8英寸和12英寸
晶圓材料	硅、鍺、碳化硅、氮化鎵、磷化銦、砷化鎵、藍(lán)寶石、鈮酸鋰等半導(dǎo)體晶圓
數(shù)據(jù)讀取和導(dǎo)出	OK
邊緣形狀測(cè)量功能	OK
Notch口形狀測(cè)量功能	OK
單R、雙R測(cè)量功能	OK
Notch寬度、深度	±1μm
輪廓角度測(cè)量重復(fù)精度	±1°
晶圓直徑	±1μm
**測(cè)量厚度	1600um
倒角寬幅精度	±10um
厚度精度	±5μm
R精度、R重復(fù)精度	±5um

產(chǎn)品咨詢

輪廓儀WEP-200E

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