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產(chǎn)品說(shuō)明

全自動(dòng)槽式晶圓清洗機(jī)KT-3000T為半導(dǎo)體晶圓材料的濕法清洗設(shè)備，用于清洗晶圓表面及背面的顆粒、金屬污染物以及其他有機(jī)物，兼容4-6英寸和6-8英寸的晶圓。設(shè)備采用高效機(jī)械手，重復(fù)定位精度高、產(chǎn)能高。工藝參數(shù)數(shù)字化控制，自由編制、修改、儲(chǔ)存、調(diào)用工藝程序。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

• 靈活

• ① 可清洗4-6英寸和6-8英寸不同材料的晶圓

  ② 可同時(shí)連續(xù)清洗10個(gè)制程，每個(gè)制程25片晶圓

• 安全

• 清洗過程花籃在密閉環(huán)境內(nèi)流轉(zhuǎn)防止酸堿氣霧外溢到實(shí)驗(yàn)室環(huán)境

• 數(shù)字化控制

• ① 具備5種清洗藥液的儲(chǔ)存及自動(dòng)混合添加、補(bǔ)充藥液功能

  ② 各工藝槽具備自動(dòng)配、供、補(bǔ)液功能

• 定制化

• 根據(jù)客戶工藝要求定制槽體數(shù)量

• 應(yīng)用工序多

• 適用于預(yù)清洗、去膠清洗、RCA清洗、擴(kuò)散前/后清洗、外延清洗等

產(chǎn)品規(guī)格