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小型氧化亞硅氣相沉積真空爐

直接聯(lián)系

深圳市美格真空科技有限公司

廣東

產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報價：

面議

品牌：

美格

型號：

小型氧化亞硅氣相沉積真空爐

關(guān)注度：

2288

產(chǎn)品介紹

1．產(chǎn)品名稱：小型氧化亞硅氣象沉積真空爐

2．應用領(lǐng)域：動力電池負極材料（氧化亞硅等可氣相沉積材料）

3.工藝描述：三溫區(qū)設(shè)計，合金內(nèi)膽，溫差控制精度3℃，高溫高真空，具備脫水，混煉反應，提純等工藝，反應充分，成品率高（約70%-80%）

型號	裝料尺寸	裝載量	工作溫度	極限溫度	真空度	總功率	氣氛類別	工序時長
MGB15-85HH	Φ150 * 850	0.12M3	1350°C	1600℃	0.1* 0.5pa	35KW	Ar/N2	16H/爐

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小型氧化亞硅氣相沉積真空爐

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小型氧化亞硅氣相沉積真空爐 - 2288

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