粉體行業(yè)在線展覽
單腔立式外延爐
面議
杭州晶馳
單腔立式外延爐
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產(chǎn)品詳情
1、相較現(xiàn)有立式外延爐有更低的硬件成本,更小的占地面積;
2、兼容4/6寸晶圓外延生長,成膜質(zhì)量好,可實現(xiàn)厚外延層快速生長;
3、更長的維護周期,更低的耗材成本;
DRY-60A型熱處理爐(電動)
水平雙腔外延爐
單腔立式外延爐
第二代碳化硅晶片腐蝕清洗設備
915MHz微波等離子體沉積系統(tǒng)(裂縫天線耦合)
裂縫耦合微波等離子體沉積系統(tǒng)
拋物面環(huán)形天線微波等離子體沉積系統(tǒng)
小圓柱式微波等離子體沉積(CVD)系統(tǒng)