粉體行業(yè)在線展覽
水平雙腔外延爐
面議
杭州晶馳
水平雙腔外延爐
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產(chǎn)品詳情
1、水平雙腔布置,硬件成本低于兩臺單腔外延爐;
2、雙腔工藝和維護獨立,實現(xiàn)不停機連續(xù)生產(chǎn);
3、兼容4/6寸晶圓外延生長,外延層質量優(yōu)異;
4、全自動上下料,釋放人工成本;
DRY-60A型熱處理爐(電動)
水平雙腔外延爐
單腔立式外延爐
第二代碳化硅晶片腐蝕清洗設備
915MHz微波等離子體沉積系統(tǒng)(裂縫天線耦合)
裂縫耦合微波等離子體沉積系統(tǒng)
拋物面環(huán)形天線微波等離子體沉積系統(tǒng)
小圓柱式微波等離子體沉積(CVD)系統(tǒng)