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拋物面環(huán)形天線微波等離子體沉積系統(tǒng)

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杭州晶馳機電科技有限公司

浙江

產品規(guī)格型號

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面議

品牌：

杭州晶馳

型號：

拋物面環(huán)形天線微波等離子體沉積系統(tǒng)

關注度：

372

產品介紹

該設備為微波等離子化學氣相沉積系統(tǒng)（MWCVD）。采用2.45GHz頻率微波源，激發(fā)穩(wěn)定的等離子體。電場激發(fā)模式為TM021模式，該系統(tǒng)可以穩(wěn)定生長金剛石單晶材料、多晶晶圓。

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拋物面環(huán)形天線微波等離子體沉積系統(tǒng)

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