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>立式爐

立式爐

立式爐

直接聯(lián)系

中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所

湖南

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià):

面議

品牌:

電子科技

型號(hào):

立式爐

關(guān)注度:

96

產(chǎn)品介紹

  • 序號(hào)

    指標(biāo)名稱

    主要技術(shù)指標(biāo)

    1

    晶圓尺寸

    8英寸

    2

    **溫度

    1100℃(石英)

      1250℃(碳化硅)

    3

    控溫精度

    ≤±0.5

    4

    溫度均勻性

    ≤±1

    5

    升溫速率

    0-10/min

    6

    **裝載量

    170

    7

    有效工作區(qū)域

    Φ230mm×780mm

    8

    溫區(qū)數(shù)量

    5

    9

    氣路數(shù)量

    4

    10

    片內(nèi)均勻性(WIW

    2%

    11

    片間均勻性(WTW

    2%

    12

    批間均勻性(RTR

    2%

    13

    新增顆粒

    50(≥0.16μm

    30(≥0.2μm

    14

    金屬污染

    <5E10 atms/cm2



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立式爐

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立式爐 - 96
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