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NV-150型MBE系統(tǒng)

直接聯(lián)系

中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所

湖南

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

電子科技

型號(hào)：

NV-150型MBE系統(tǒng)

關(guān)注度：

118

產(chǎn)品介紹

生長室

· 極限真空5E-11Torr

· 6英寸或3×3英寸襯底

· 12個(gè)源爐口

· 可選E-gun系統(tǒng)

· 襯底**加熱至1000°C

· 多種束源爐擋板可選

緩沖室

·極限真空SE-10Torr

·可選集成式高溫除氣臺(tái)

·可選獨(dú)立預(yù)處理室

·易于擴(kuò)展、多腔互聯(lián)

·線性手動(dòng)／自動(dòng)傳輸

進(jìn)樣室

· 快開門設(shè)計(jì)

· 可裝載7片晶圓

· 紅外燈管加熱

· 晶圓升降電動(dòng)控制

產(chǎn)品咨詢

NV-150型MBE系統(tǒng)

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