粉體行業(yè)在線(xiàn)展覽
立式真空擴(kuò)散爐
面議
育豪微電子
立式真空擴(kuò)散爐
250
設(shè)備性能指標(biāo) | ||
1 | 操作方式 | 立式 |
2 | 管路數(shù) | 1管 |
3 | 加工晶圓尺寸 | 6-12寸 |
4 | 適用工藝 | 擴(kuò)散(鎵擴(kuò))、玻璃鈍化(GPP)、退火、合金 |
5 | 溫度校準(zhǔn)功能 | 具有自動(dòng)校準(zhǔn)溫區(qū)功能,具有預(yù)先寫(xiě)入偏差值快速拉溫區(qū)功能(選配) |
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JRF 系列
略
VSF-V 石英槽沉爐
氮化鋁粉體量產(chǎn)爐
碳化硅涂層CVD爐
厚膜燒結(jié)爐
蓄熱式熱力氧化RTO
中頻感應(yīng)爐
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FZL(T)-360/17
YSJ-171212
鋼帶傳動(dòng)隧道式電阻爐