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SE-i光譜橢偏儀

直接聯(lián)系

武漢頤光科技有限公司

湖北

產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報價：

面議

關(guān)注度：

912

產(chǎn)品介紹

一、概述

SE-Vi是一款集成式原位光譜橢偏儀，針對有機(jī)/無機(jī)鍍

膜工藝研究的需要開發(fā)的原位薄膜在線監(jiān)測中的定制化

開發(fā)，快速實現(xiàn)光學(xué)薄膜原位表征分析。

二、測試案例

實時監(jiān)測成膜工藝

實時膜厚表征

三、產(chǎn)品應(yīng)用

■ 廣泛應(yīng)用于金屬薄膜、有機(jī)薄膜、無機(jī)薄膜的物理/化學(xué)氣相沉積，ALD沉積等光學(xué)薄膜工藝過程中實際原位在線監(jiān)測并實時反饋測量物性數(shù)據(jù)。

產(chǎn)品咨詢

SE-i光譜橢偏儀

武漢頤光科技有限公司

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