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小型離子濺射儀

直接聯(lián)系

廣州競(jìng)贏科學(xué)儀器有限公司

美國(guó)

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

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560

產(chǎn)品介紹

108真空鍍膜儀是一款結(jié)構(gòu)緊湊的手動(dòng)型鍍膜系統(tǒng)，特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜。

主要特性

l通過高效低壓直流磁控頭進(jìn)行冷態(tài)精細(xì)的噴鍍過程，避免樣品表面受損。

l操作容易快捷，控制的參數(shù)包括放氣以及氬氣換氣控制。

l可用MTM-10高分辨膜厚控制儀（選件）精確測(cè)定所鍍膜的厚度。

l數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響，可得到一致的鍍膜速率和**的鍍膜效果。

l可使用多種金屬靶材：Au， Au/Pd，，Pt，，Pt/Pd（Au靶為標(biāo)配），靶材更換快速方便。

技術(shù)參數(shù)

濺射系統(tǒng)
樣品室大小	直徑120mm x 120mm 高
靶材	Au 靶為標(biāo)配， Au:Pd， Pt， Pt:Pd （選件）; 大?。褐睆?/span>57mm x 0.1mm厚
樣品臺(tái)	可以裝載12個(gè)SEM樣品座，高度可調(diào)范圍為50mm
濺射控制	微處理器控制，安全互鎖
濺射電流	5~45mA可調(diào)
濺射頭	低電壓平面磁控管，靶材更換快速，環(huán)繞暗區(qū)護(hù)罩
計(jì)量表	真空： Atm - 0.001mbar，電流：0~50mA
厚度監(jiān)控 (選件)	使用MTM-10高分辨厚度監(jiān)控儀（選件）精確測(cè)定所鍍膜的厚度
控制方法	具有氣體換氣和泄氣功能，帶有“暫?！笨刂频臄?shù)字定時(shí)器（5－300s）
真空系統(tǒng)
真空泵	2級(jí)直連式高速真空泵
抽氣速率	3.0 m3/小時(shí)，真空度到 0.1mb所需時(shí)間30秒.
極限真空	5 x 10-3mba
桌上系統(tǒng)	真空泵可置于抗震臺(tái)上，全金屬集成耦合系統(tǒng)

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小型離子濺射儀

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