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AMAT 半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備 SEMVision G2

AMAT 半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備 SEMVision G2

直接聯(lián)系

青島佳鼎半導(dǎo)體

山東

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià):

面議

品牌:

佳鼎半導(dǎo)體

型號(hào):

AMAT 半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備 SEMVision G2

關(guān)注度:

520

產(chǎn)品介紹

SEMVision G2 的檢測(cè)組裝和處理使微小和淺缺陷的高質(zhì)量地形圖像成為可能。高動(dòng)態(tài)范圍檢測(cè)、背散射電子收集和能量過濾可實(shí)現(xiàn)高縱橫比成像。

AMAT 半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備 SEMVision G2

基本信息:

型號(hào):AMAT SEMVision G2 +

描述:缺陷審查系統(tǒng)

晶圓尺寸:300mm

序列號(hào):多個(gè)系統(tǒng)可用

保修:按原樣或按客戶規(guī)格翻新

參數(shù)規(guī)格:

1 KeV 時(shí)的分辨率:3 nm

焦點(diǎn)圖/焦點(diǎn)偏移:90% 的缺陷,Delta Z < 3 μms

自動(dòng)缺陷偏移/XY 圖:95% 的缺陷 Delta X < 1.5 μm 和 Delta Y < 1.5 μm

EDX 分辨率:4nm

晶圓產(chǎn)量:12 晶圓 / 小時(shí)

缺陷吞吐量:>1000 個(gè)缺陷/小時(shí)

正面清潔度:0.013 PWP / cm2 > 0.2 μm 處的尺寸

基本配置:

帶 ULPA 過濾器的 FFU

掃描電鏡柱 G2

EDX 柱

45 度立柱傾斜

包括晶圓旋轉(zhuǎn)選項(xiàng)

載物臺(tái)晶圓支架 3 PIN

對(duì)準(zhǔn)器光學(xué)顯微鏡 X5、X20、X100

晶圓處理:

裝載機(jī):帶 RFID 的 AMAT ADO

晶圓尺寸:300mm

ETU 300mm

國際電聯(lián) 300 毫米

軟件信息:

軟件版本(WS、IP/ODC SW、MEC、WHC):v5.1.500 WorkStation SGI FULE

軟件版本(EDX):VTG_5.0.107

系統(tǒng)性能:

Pal (On the OTW, cassette / Slot 1: Delta X= 500 μm; Delta Y= 500 μm

ITU Repeatability: Delta X and Delta Y < 20 μm

Stage accuracy: Delta X and Delta Y < 1.5 μm

MTR: Delta X= 50; Delta Y= 30 μm

其他設(shè)施信息:

**額定負(fù)載電流:8 A

滿載電流:10A

中斷電流:10,000 安培 IC

電源電壓:1-120 VAC,1-Ph,3 線 208 V,3-Ph,5 線,50/60 Hz


產(chǎn)品咨詢

AMAT 半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備 SEMVision G2

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