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適應(yīng)晶圓 Wafer Size 

l Size: 4", 6" compatible

l 標(biāo)配16 cassettes或14 cassettes（選配/WA），全部Cassettes可自由設(shè)定入料出料，自由分選

檢測與輸出 Inspect And Export

l 常規(guī)檢測：Thickness, TTV, Bow, Warp, TIR, Sori, Sag, LTV(需進(jìn)行Fullmap測試)

l 可以輸出CSV數(shù)據(jù)報(bào)表，并可自定義保存線掃線型與面掃2D / 3D面型圖PDF報(bào)告

產(chǎn)能 Throughput

* 原進(jìn)原出連續(xù)測試4盒100片計(jì)算

檢測指標(biāo) Inspection Capability

l 晶圓厚度范圍：400um-2000um

l 檢測分辨率：0.028μm

l 檢測精度：±0.2um

l 重復(fù)性：3σ≦1.0μm

l 準(zhǔn)確性（對(duì)標(biāo)FRT）THK/Bow/Warp線性≥95%

l 準(zhǔn)確性（對(duì)標(biāo)FRT）TTV/TIR線性≥90%

軟件功能 Software Functions

l Function Blocks：晶圓搬運(yùn)控制、狀態(tài)指示、安全互鎖、數(shù)據(jù)采集、晶圓分選，測量結(jié)果數(shù)據(jù)查看與保存、Recipe編輯與管理、設(shè)備狀況記錄log

l 用戶權(quán)限：工程師，操作員

l Grading function：可按照用戶需求，定義產(chǎn)品Grade A/B/C/NG的各級(jí)挑選

l Parameter definition：可由用戶自行進(jìn)行檢測參數(shù)，卡控標(biāo)準(zhǔn)的設(shè)定