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E3200 GaN缺陷檢測設(shè)備

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昂坤視覺（北京）科技有限公司

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品牌：

昂坤視覺

型號：

E3200 GaN缺陷檢測設(shè)備

關(guān)注度：

200

產(chǎn)品介紹

E3200是針對GaN 功率器件和HB GaN LED應(yīng)用，可以檢測GaN襯底及PSS基GaN、Si基GaN 和SiC基GaN 等外延片的表面和熒光缺陷，*小檢測顆粒81nm。可以檢測并區(qū)分顆粒（particle）、凹坑（pit）、凸起（bump）、劃傷（scratch）、污點(diǎn)（stain）、裂紋（crack）、PL 黑點(diǎn)、PL scratch、PL crystal 缺陷等表面及熒光缺陷。支持4@、6@、8@晶圓檢測，具有高產(chǎn)能、檢測準(zhǔn)確和檢出率高的優(yōu)點(diǎn)。

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E3200 GaN缺陷檢測設(shè)備

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