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圖形化晶圓缺陷檢測設(shè)備

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昂坤視覺（北京）科技有限公司

北京

產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報價：

面議

品牌：

昂坤視覺

型號：

圖形化晶圓缺陷檢測設(shè)備

關(guān)注度：

231

產(chǎn)品介紹

設(shè)備描述 Features

晶圓搬運	EFEM: 6” / 8” SMIF or 12” FOUP
適用晶圓	Si/GaN/SiC
晶圓翹曲	不大于200um
晶圓厚度	350um~1.5mm（在晶圓底部打開并夾持）
照明系統(tǒng)	明場和斜入射暗場
圖形化晶圓顆粒檢測靈敏度	150nm
非圖形化晶圓顆粒檢測靈敏度	80nm
檢測缺陷分類	Particle, scratch, pit, bump, Haze map
工藝節(jié)點	90,130nm

產(chǎn)品咨詢

圖形化晶圓缺陷檢測設(shè)備

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