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設(shè)備DH6A—MPCVD

半導(dǎo)體級(jí)MPCVD設(shè)備

直接聯(lián)系

西安德盟特半導(dǎo)體科技有限公司

陜西

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

德盟特

型號(hào)：

半導(dǎo)體級(jí)MPCVD設(shè)備

關(guān)注度：

496

產(chǎn)品介紹

常規(guī)配置及參數(shù)
電源輸入:三相 380V (±10%), 15KVA
微波電源功率:6KW（2.45GHz）
樣品臺(tái):8英寸水冷銅臺(tái)
腔體生長(zhǎng)壓力:10-200Torr
氣體管路:標(biāo)配4路（H2、O2、CH4、N2）
反應(yīng)腔體:臥式蝶形上翻蓋金屬水冷腔體
（帶4個(gè)觀察窗）
主機(jī)柜尺寸:900mm(W)×850mm(D)×1680mm(H)
（約320Kg）
控制柜尺寸:570mm(W)×850mm(D)×1800mm(H)
（約240Kg）


產(chǎn)品咨詢

設(shè)備DH6A—MPCVD

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