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YX-11A晶棒參考面定向儀(OF)
面議
遼東射線
YX-11A晶棒參考面定向儀(OF)
324
用 途:
該設(shè)備是加工晶棒參考邊(OF面)時(shí)定向的專用儀器,是外圓滾磨機(jī)床后道工序的配套設(shè)備,將外圓滾磨機(jī)磨好的晶棒放在該儀器上進(jìn)行定向;然后到平面磨床上磨參考面;其定向角度是固定式,客戶可根據(jù)自己的晶體材料選擇不同晶體的角度,如;藍(lán)寶石A、R面;硅、砷化稼、鍺(110)面等晶體的角度。(訂貨時(shí)晶向角度可自選)
特點(diǎn):
此設(shè)備的優(yōu)點(diǎn)是測(cè)量精度高,一臺(tái)設(shè)備的定向、能滿足多臺(tái)平面磨床的使用。標(biāo)準(zhǔn)配置2、4英寸夾具各一套。(訂貨時(shí)夾具尺寸可以選配)
方 法:
把滾磨機(jī)床磨好的晶棒放到 V型槽專用夾具中,放到工作臺(tái)上,使定向頭慢慢向下移動(dòng)直至碰到晶棒為止,打開射線光閘測(cè)量其晶向,然后慢慢轉(zhuǎn)動(dòng)晶棒找到參考邊方向,反復(fù)幾次準(zhǔn)確的找到角度**值;然后將夾具鎖緊,連同V型槽專用夾具一同放到平面磨機(jī)床上,磨出參考邊。
主要技術(shù)參數(shù):
X 射線管 | 銅靶,陽(yáng)極接地,強(qiáng)迫風(fēng)冷 |
管 電 壓 | 30KVP、全壓合閘 |
管 電 流 | 0-5mA、連續(xù)可調(diào) |
電源輸入 | 單相交流220V 、50HZ、 0.5KW |
測(cè)量角度 | 固定式藍(lán)寶石A向18°55′ |
計(jì) 數(shù) 管 | 蓋革、電壓DC700---1200V |
時(shí)間常數(shù) | 0.1、0.4、3秒;3檔可調(diào) |
X窗口控制 | 電 磁 光 閘 |
測(cè)晶棒重量 | 20Kg晶棒 |
測(cè)晶棒直徑;長(zhǎng)度 | 直徑2--4英寸、長(zhǎng)50-300 mm |
V槽夾具 | 標(biāo)準(zhǔn)配置、直徑2、4、英寸 |
外形尺寸 | 長(zhǎng)1140×寬650×高1700 |
儀器重量 | 150KG |
YX-3型
X射線光源
JF-6單晶定向儀(單晶刀具專用設(shè)備)
JF-2型勞厄晶體分析儀
YX-5型普通\雙晶高精度定向儀
YX-11A晶棒參考面定向儀(OF)
YX-5D\5DA硅單晶棒射線定向儀
YX-6D\6DA硅單晶棒射線定向儀
YX-2型X射線晶體定向儀
YX-3型晶棒端面定向儀
YX-Z全封閉高精度自動(dòng)尋峰晶體定向儀
YX-16全自動(dòng)雙X射線定向粘接儀
XRD-晶向定位
CVD 真空化學(xué)氣相沉積設(shè)備
自動(dòng)劃片機(jī)
BTF-1200C-RTP-CVD
Gasboard-2060
HSE系列等離子刻蝕機(jī)