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電漿輔助化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

定制-電漿輔助化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

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廈門毅睿科技有限公司

中國

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高敦/毅睿

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定制-電漿輔助化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

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電漿輔助化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

電漿輔助化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD)

Plasma - Enhanced Chemical Vapor Deposition

基板尺寸:10x10cm或其他尺寸

濺鍍?cè)?13.56 MHz RF 或2.45 GHz微波

基板加溫:Max800℃

自動(dòng)製程

Description:

基板尺寸:6”Wafer或其他尺寸

電漿源:13.56 MHz RF & Bias

基板加溫:Max350℃

氣體:SiH4，NH3,N2O，Ar,N2，CF4,O2...

自動(dòng)壓力控制器

用途:SiO2，SiXNX ... etc.,

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電漿輔助化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

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