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碳化硅晶圓改質(zhì)切割設(shè)備

直接聯(lián)系

廣東大族半導(dǎo)體裝備科技有限公司

廣東

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

大族半導(dǎo)體

型號(hào)：

碳化硅晶圓改質(zhì)切割設(shè)備

關(guān)注度：

107

產(chǎn)品介紹

主要特點(diǎn)：

設(shè)備特點(diǎn)：

1、特制激光系統(tǒng)

2、優(yōu)異的切割效果

3、全自動(dòng)生產(chǎn)

4、高精度視覺系統(tǒng)；自動(dòng)對(duì)位，自動(dòng)尋焦

5、高精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

6、兼容4/6inch生產(chǎn)

7、SECS GEM標(biāo)準(zhǔn)接口

主要參數(shù):

主要參數(shù)	加工尺寸	4inch、6inch晶圓
	加工速度	400-1000mm/s
	加工精度	±1μm
	平臺(tái)參數(shù)	行程300mm×300mm 重復(fù)定位精度±0.001mm θ軸重復(fù)定位精度±2arcsec
	激光器參數(shù)	紅外
	稼動(dòng)率	98%以上
	重大故障間隙時(shí)間	＞1000H
	良率	≥99.5%

加工效果：

碳化硅晶圓改質(zhì)切割設(shè)備2.jpg 碳化硅晶圓改質(zhì)切割設(shè)備.jpg

產(chǎn)品咨詢

碳化硅晶圓改質(zhì)切割設(shè)備

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