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硅晶圓改質(zhì)切割設(shè)備

硅晶圓改質(zhì)切割設(shè)備

直接聯(lián)系

廣東大族半導(dǎo)體裝備科技有限公司

廣東

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià):

面議

品牌:

大族半導(dǎo)體

型號(hào):

硅晶圓改質(zhì)切割設(shè)備

關(guān)注度:

184

產(chǎn)品介紹

主要特點(diǎn):

設(shè)備特點(diǎn):

1、特制激光系統(tǒng)

2、優(yōu)異的切割效果

3、全自動(dòng)生產(chǎn)

主要參數(shù)加工尺寸6inch、8inch、12inch
加工速度400-1000mm/s
加工精度±1μm
平臺(tái)參數(shù)行程300mm×300mm

重復(fù)定位精度±0.001mm
θ軸重復(fù)定位精度±2arcsec

激光器參數(shù)紅外
稼動(dòng)率98%以上
重大故障間隙時(shí)間>1000H
良率≥99.5%

加工效果:

   

硅晶圓改質(zhì)切割設(shè)備

設(shè)備型號(hào):DSI-S-TC9211

應(yīng)用范圍:硅MEMS傳感器,壓感芯片,麥克風(fēng),測(cè)溫芯片等,RFID,生物芯片,等硅襯底晶圓激光切割

硅晶圓改質(zhì)切割設(shè)備

設(shè)備型號(hào):DSI-S-TC9211

應(yīng)用范圍:硅MEMS傳感器,壓感芯片,麥克風(fēng),測(cè)溫芯片等,RFID,生物芯片,等硅襯底晶圓激光切割


產(chǎn)品咨詢

硅晶圓改質(zhì)切割設(shè)備

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