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單面CMP拋光機(jī)

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深圳市夢(mèng)啟半導(dǎo)體裝備有限公司

廣東

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

夢(mèng)啟半導(dǎo)體

型號(hào)：

單面CMP拋光機(jī)

關(guān)注度：

135

產(chǎn)品介紹


參數(shù)名稱單位DL-855/4P-CMP
主電源V三相 380
主電機(jī)功率KW15
主電機(jī)轉(zhuǎn)速RPM0~85
上盤(pán)驅(qū)動(dòng)電機(jī)轉(zhuǎn)速RPM0~70
拋光盤(pán)尺寸mm855
加工尺寸寸2-8
工作工位組4
工件盤(pán)尺寸
mmΦ305x15
單工位壓力Kg20~300
拋光液流速L/min15（可調(diào)）
主盤(pán)溫度檢測(cè)度±5
設(shè)備尺寸（W x D x H）mm1200x1650x2250
設(shè)備重量Kg約2450


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單面CMP拋光機(jī) - 135
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