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全自動超精密晶圓減薄機(jī)

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深圳市夢啟半導(dǎo)體裝備有限公司

廣東

產(chǎn)品規(guī)格型號

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品牌：

夢啟半導(dǎo)體

型號：

全自動超精密晶圓減薄機(jī)

關(guān)注度：

135

產(chǎn)品介紹

設(shè)備優(yōu)勢

◎ 減薄單元采用軸向進(jìn)給(ln-Feed)磨削原理，兼容Φ100~300mm晶圓磨削減薄加工。

◎ 設(shè)備配有MARPOSS在線測量儀單元，加工時(shí)實(shí)時(shí)測量產(chǎn)品厚度，精確控制減薄厚度。也可選配非接觸測量NCG單元。

◎ 設(shè)備核心是具有自主產(chǎn)權(quán)的2個(gè)靜壓氣浮磨削主軸、3個(gè)高精度晶圓主軸及1個(gè)高剛度大直徑氣浮回轉(zhuǎn)工作臺構(gòu)造的全自動磨削減薄機(jī)。

◎ 全自動上下料?？蛇M(jìn)行4寸(40um)~ 12寸(80um)超薄晶圓加工。

◎ 分別在前面、左面、右面各配置了1臺觸摸式液晶顯示器，方便在不同區(qū)域作業(yè)需求，提高了操作便利性?？刂飘嬅婵赏斤@示加工狀況和設(shè)備狀態(tài)，操作人員只要觸摸控制畫面上的按鈕，就可以簡單地完成操作。

性能參數(shù)

產(chǎn)品咨詢

全自動超精密晶圓減薄機(jī)

深圳市夢啟半導(dǎo)體裝備有限公司

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