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EVG 610光刻機

EVG 610光刻機

直接聯(lián)系

亞科電子(香港)有限公司

北京

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價:

面議

品牌:

亞科電子

型號:

EVG 610光刻機

關(guān)注度:

924

產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品簡介:

EVG 610是一款入門級光刻機,支持接近式、軟接觸、硬接觸、真空接觸4種曝光方式,可選配背面對準模塊。也可用于鍵合對準及納米壓印光刻(NIL),是科研開發(fā)用戶的理想選擇。

主要特點及參數(shù):

·**支持8英寸(200mm)晶圓

·頂部及底部對準:

頂部對準精度≤±0.5μm

底部對準精度≤±2μm

紅外對準精度≤±2μm(取決于襯底材料)

鍵合對準精度≤±2μm

納米壓印對準精度≤±2μm

·支持汞燈或UV-LED光源

·自動楔形補償程序

·可選配功能:

鍵合對準

紅外對準

納米壓印光刻(NIL)


產(chǎn)品咨詢

EVG 610光刻機

EVG 610光刻機

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EVG 610光刻機 - 924
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