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EVG 850LT SOI晶圓鍵合系統(tǒng)

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亞科電子（香港）有限公司

北京

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

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品牌：

亞科電子

型號(hào)：

EVG 850LT SOI晶圓鍵合系統(tǒng)

關(guān)注度：

577

產(chǎn)品介紹

EVG 850LT是一款專門用于SOI晶圓的全自動(dòng)鍵合系統(tǒng)，相比EVG850增加了低溫等離子體激活模塊，提高鍵合質(zhì)量。

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EVG 850LT SOI晶圓鍵合系統(tǒng)

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