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EVG GEMINI晶圓鍵合系統(tǒng)

EVG GEMINI晶圓鍵合系統(tǒng)

直接聯(lián)系

亞科電子(香港)有限公司

北京

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價:

面議

品牌:

亞科電子

型號:

EVG GEMINI晶圓鍵合系統(tǒng)

關(guān)注度:

583

產(chǎn)品介紹


產(chǎn)品簡介:

EVG GEMINI是一款全自動多腔室晶圓鍵合工藝平臺,實現(xiàn)了高程度的集成度和自動化,適用于大型量產(chǎn)。

主要特點及參數(shù):

·**支持12英寸(300mm)晶圓

·*多兼容4個鍵合腔室和6個預(yù)處理腔室

·兼容底部對準(zhǔn)、紅外對準(zhǔn)以及SmartView對準(zhǔn)

·可選配模塊:

低溫等離子體活化

晶圓清洗

涂膠模塊

UV固化模塊

烘烤/冷卻模塊

對準(zhǔn)驗證模塊


產(chǎn)品咨詢

EVG GEMINI晶圓鍵合系統(tǒng)

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