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>EVG 850SOI晶圓鍵合系統(tǒng)

品牌展臺(tái)：亞科電子（香港）有限公司

產(chǎn)品

EVG 850SOI晶圓鍵合系統(tǒng)

直接聯(lián)系

亞科電子（香港）有限公司

北京

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

亞科電子

型號(hào)：

EVG 850SOI晶圓鍵合系統(tǒng)

關(guān)注度：

505

產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品簡介：

EVG 850是一款專門用于SOI晶圓的全自動(dòng)鍵合系統(tǒng)，配備清洗、對準(zhǔn)、預(yù)鍵合、紅外檢測等模塊。

主要特點(diǎn)及參數(shù)：

·**支持12英寸（300mm）SOI晶圓

·Cassette-to-Cassette或者Foup-to-Foup運(yùn)行

·**真空度：9*10-2mbar（可選配至9*10-3mbar）

·主要模塊：

對準(zhǔn)模塊（flat or notch）

清洗模塊

預(yù)鍵合模塊

鍵合模塊

紅外檢測模塊

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產(chǎn)品咨詢

EVG 850SOI晶圓鍵合系統(tǒng)

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EVG 850SOI晶圓鍵合系統(tǒng) - 505

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