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Park NX20 300mm

可用于 300mm晶片圓測量和分析的**自動化納米測量工具

Park NX20      300mm是業(yè)界**大樣品原子力顯微鏡，支持300mm×300mm全程機動化。新升級的Park      NX20系統(tǒng)專為失效分析和質(zhì)量控制實驗室設(shè)計，可有效地檢測整個300mm晶圓，且無需任何繁瑣的樣品位移。盡管擴大了支持300mm樣品的機動XY工作臺，但Park的創(chuàng)新性振動隔離技術(shù)仍然能夠?qū)⑾到y(tǒng)噪聲保持在低于0.5      (?) RMS，通常是0.3 ? RMS的水平。

經(jīng)檢驗的原子力顯微鏡性能和單擊-原子力顯微鏡自動化取消了樣本調(diào)整的需求，并使Park    NX20的掃描過程盡可能高效和便于使用。通過我們的“批處理模式(Program    Mode)”界面，用戶可以在整個300mmx300mm區(qū)域輕松實現(xiàn)可靠與可重復的順序多站點測量。NX20    300 mm從而成為需要掃描大樣品的FA、QA和QC工程師的**。

專為大樣品晶圓檢測而建

NX20 300  mm進行了全新設(shè)計，可達到大樣品的**測量。整個300mm晶圓區(qū)域可進行低噪聲原子力顯微鏡測量分析。這開啟了一個全新的自動化測量范圍，讓工程師可以更快捷、更簡便、更精確地開展工作。