粉體行業(yè)在線展覽
EVG 560晶圓鍵合系統(tǒng)
面議
亞科電子
EVG 560晶圓鍵合系統(tǒng)
566
產(chǎn)品簡介:
EVG 560是一款全自動(dòng)多腔室晶圓鍵合系統(tǒng)。
主要特點(diǎn)及參數(shù):
·**支持12英寸(300mm)晶圓
·*多兼容4個(gè)鍵合腔室
·兼容包括SmartView在內(nèi)的EVG機(jī)械/光學(xué)對(duì)位裝置
·擁有獨(dú)立的底部冷卻系統(tǒng)
產(chǎn)品簡介:
EVG 560是一款全自動(dòng)多腔室晶圓鍵合系統(tǒng)。
主要特點(diǎn)及參數(shù):
·**支持12英寸(300mm)晶圓
·*多兼容4個(gè)鍵合腔室
·兼容包括SmartView在內(nèi)的EVG機(jī)械/光學(xué)對(duì)位裝置
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