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MDPinline高速晶圓片在線面檢測儀-一秒內(nèi)完成晶

直接聯(lián)系

束蘊儀器（上海）有限公司

德國

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產(chǎn)品介紹

MDPinline是一種用于快速定量測量載流子壽命并集成掃描功能的檢測儀。通過工廠安裝的傳送帶將晶圓片移至儀器，在不到一秒的時間內(nèi)，就可以“動態(tài)”測量出晶圓圖。該儀器可為每個晶圓片提供完整的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)，極大提高了生產(chǎn)線的成本效益和效率。且其實時質(zhì)量檢測可以提高和優(yōu)化諸如擴散和鈍化等處理步驟。

產(chǎn)品優(yōu)勢▼

在不到一秒的時間內(nèi)，可對一個晶圓片進行全電特性測試。測量參數(shù)：載流子壽命(拓?fù)鋱D)、電阻率(雙線掃描)。

在非常短的時間內(nèi)獲得數(shù)以千計的晶圓片的統(tǒng)計信息可有效地幫助晶圓廠控制過程和生產(chǎn)。

適用于測量晶圓片的材料質(zhì)量，以及識別晶圓片層面的結(jié)晶問題，例如在光伏行業(yè)。

適用于擴散過程的完整性控制、鈍化效率和均勻性控制。

Si3N4 and SiC segregates in multi-crystalline silicon

Microcrystalline inclusions

Investigation of passivation quality...

Cz-Si with bulk defects， separation...

Multicrystalline silicon wafers

技術(shù)參數(shù)

樣品厚度	100 μm up to 1 mm
樣品尺寸	在125 x 125 和210 x 210 mm2 之間，或 4”到18”
電阻率	0.2 - 103 Ohm cm
傳導(dǎo)類型	p， n
材質(zhì)	硅晶圓，部分或完全加工的晶圓片，化合物半導(dǎo)體等
測量性能	少數(shù)載流子壽命（穩(wěn)態(tài)或非平衡(μ-PCD)可選擇的）
測量位置	默認(rèn)2.8 mm，其它可選
檢測時間	獲得完整的一張晶圓圖時間小于1秒
尺寸	400 x 400 x 450 mm，重量：29 kg
電源	24 V DC， 4 A

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在不到一秒的時間內(nèi)，可對一個晶圓片進行全電特性測試。測量參數(shù)：載流子壽命(拓?fù)鋱D)、電阻率(雙線掃描)。

Multicrystalline silicon wafers

技術(shù)參數(shù)

在不到一秒的時間內(nèi)，可對一個晶圓片進行全電特性測試。測量參數(shù)：載流子壽命(拓?fù)鋱D)、電阻率(雙線掃描)。