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膜厚測量儀

直接聯(lián)系

上海瞬渺光電技術(shù)有限公司

日本

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

參考報(bào)價(jià)：

面議

關(guān)注度：

932

產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品特點(diǎn)：

? 薄膜到厚膜的測量范圍、UV～NIR光譜分析。

? 高性能的低價(jià)光學(xué)薄膜測量儀。

? 藉由**反射率光譜分析膜厚。

? 完整繼承FE-3000高端機(jī)種90%的強(qiáng)大功能。

? 無復(fù)雜設(shè)定，操作簡單，短時(shí)間內(nèi)即可上手。

? 非線性*小平方法解析光學(xué)常數(shù)(n:折射率、k:消光系數(shù))。

產(chǎn)品規(guī)格：

型號(hào)	FE-300V	FE-300UV	FE-300NIR
對(duì)應(yīng)膜厚	標(biāo)準(zhǔn)型	薄膜型	厚膜型	超厚膜型
樣品尺寸	**8寸晶圓（厚度5mm）
膜厚范圍	100nm~40μm	10nm~20μm	3μm~30μm	15μm~1.5mm
波長范圍	450nm~780nm	300nm~800nm	900nm~1600nm	1470nm~1600nm
膜厚精度	±0.2nm以內(nèi)	±0.2nm以內(nèi)	-	-
重復(fù)再現(xiàn)性(2σ)	0.1nm以內(nèi)	0.1nm以內(nèi)	-	-
測量時(shí)間	0.1s～10s以內(nèi)
測量口徑	約Φ3mm
光源	鹵素?zé)?/span>	UV用D2燈	鹵素?zé)?/span>	鹵素?zé)?/span>
通訊界面	USB
尺寸重量	280（W）×570（D）×350（H）mm，約24kg
軟件功能
標(biāo)準(zhǔn)功能	波峰波谷解析、FFT解析、適化法解析、小二乘法解析
選配功能	材料分析軟件、薄膜模型解析、標(biāo)準(zhǔn)片解析

應(yīng)用范圍：

? 半導(dǎo)體晶圓膜(光阻、SOI、SiO2等)

? 光學(xué)薄膜(OC膜、AR膜、ITO、IZO膜等)

應(yīng)用范例：

? PET基板上的DLC膜

? Si基板上的SiNx

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膜厚測量儀

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