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微光顯微鏡PHEMOS系列

直接聯(lián)系

濱松光子學(xué)商貿(mào)（中國）有限公司

日本

產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報價：

面議

關(guān)注度：

846

產(chǎn)品介紹

微光顯微鏡PHEMOS系列

PHEMOS-1000是一款標準型高分辨率微光顯微鏡，其包含了一個紅外共焦激光顯微鏡。PHEMOS-1000可根據(jù)設(shè)備環(huán)境和設(shè)備裝置來靈活改變包括插座板到300mm雙面晶片探針等等的部件。它還可以適配高靈敏度近紅外相機和高分辨率納米透鏡等選配件。該顯微鏡有多種選配，包括紅外-光致阻值改變（IR-OBIRCH）分析、與大規(guī)模集成電路測試機連接和CAD導(dǎo)航功能等，這些選配有助于該顯微鏡處理多種測量需要。

黑盒照明燈含水銀，請根據(jù)當?shù)胤ㄒ?guī)處理。

特性

可選配適用于高分辨率、高靈敏度觀測的納米透鏡
紅外共焦激光顯微鏡
紅外-光致阻值改變（IR-OBIRCH）分析功能（選配）
低電壓樣品用高靈敏度近紅外相機（選配）
數(shù)字lock-in組件加強紅外-光致阻值改變的檢測能力（選配）
可安裝300mm雙面半自動探針

顯示功能

PHEMOS-1000將發(fā)光圖像疊加到高分辨率模板圖像上來快速定位缺陷點。對比度增強功能可使圖像更清晰，細節(jié)更多。

顯示功能

注釋
圖像的任何位置都可以顯示評論、箭頭等注釋符號。
比例顯示
可使用分段，在圖像上顯示比例寬度。
柵格顯示
圖像上可現(xiàn)實水平和垂直柵格。
縮略圖顯示
圖像可以以縮略圖的形式存儲和調(diào)用，stage坐標等圖像信息也可顯示。
分屏顯示
模板圖像、發(fā)光圖像、疊加圖像以及參考圖像可一次顯示在4個窗口的屏幕上。

參數(shù)

產(chǎn)品名稱	PHEMOS-1000
探測目標	器件發(fā)光（發(fā)光探測功能）電流改變（IR-OBIRCH功能）
可用器件	300 mm 晶片 200 mm晶片方塊形芯片切割后晶片、封裝后器件（取決于探針和樣品固定裝置）
適配探針	200/300 mm晶片用雙面半自動探針^1 200/300 mm晶片用雙面手動探針^1 200/300 mm晶片用半自動探針（正面觀測）^1 200/300 mm晶片用手動探針（正面觀測）^1
尺寸/重量	主單元： 1360 mm (W)×1410 mm (D)×2120 mm (H)， Approx. 900 kg^*2 控制臺：880 mm (W)×700 mm (D)×1542 mm (H)， Approx. 255 kg PC桌：1000 mm (W)×800 mm (D)×700 mm (H)， Approx. 45 kg
線電壓	AC220 V (50 Hz/60 Hz)
功耗	3000W
真空度	約80 kPa
壓縮空氣	約0.5 MPa~0.7 MPa