粉體行業(yè)在線展覽
快速高溫退火設(shè)備RTA RSA-06
面議
萬德思諾
快速高溫退火設(shè)備RTA RSA-06
240
產(chǎn)品圖片:
產(chǎn)品型號:
RSA-06
產(chǎn)品介紹:
Ceramic, Metal Free的熱場設(shè)計
可以實現(xiàn)± 10℃以下(1500℃) 的面內(nèi)溫度分布。
急加熱急冷卻的設(shè)計, 即使單片對應(yīng)整體速度也很快
反應(yīng)爐和冷卻室是分開存在, 加熱部可以保持均一高溫。 (**申請)
加熱部一直是高溫保持,綜合運轉(zhuǎn)成本會降低
本裝置為高真空對應(yīng)(可以使用干泵+渦輪分子泵)
**可以對應(yīng)2000℃。
我們將通過充分利用仿真軟件來建議**的熱場
基本規(guī)格(SPEC)
溶液成長法單晶生長設(shè)備(TSSG法)
中型高速研磨設(shè)備 STC-610
快速高溫退火設(shè)備RTA RSA-06
全自動晶片減薄機SGM-9100
桌上型精密切割機MPC-200e
MIST-CVD氧化物薄膜沉積設(shè)備 M150A
C2W低溫?zé)釅烘I合設(shè)備 SAFP
高還原性低溫?zé)釅簩?zhǔn)鍵合設(shè)備 MAFP
高還原性低溫?zé)釅烘I合設(shè)備 FATB
碳膜濺射設(shè)備 CS-200
碳膜去除設(shè)備 NE-550EX
激活退火設(shè)備 Ailesic-2000