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四方儀器紅外氣體傳感器 Gasboard-2061

Gasboard-2061

直接聯(lián)系

四方光電（武漢）儀器有限公司

湖北武漢

產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報價：

面議

品牌：

四方儀器

型號：

Gasboard-2061

關(guān)注度：

219

范圍（量程或細度）：

1~264ppm(0~200mTorr)

創(chuàng)新點：

使用NDIR技術(shù)，多氣體監(jiān)測支持(WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)

響應時間快，高靈敏度

無耗材

模擬/數(shù)字通信

模塊化設(shè)計，便于集成

產(chǎn)品介紹

紅外氣體傳感器 Gasboard-2061.jpg

產(chǎn)品名稱：紅外氣體傳感器

產(chǎn)品型號：Gasboard-2061

紅外氣體傳感器產(chǎn)品概述

紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測量半導體等應用中產(chǎn)生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內(nèi)常見預留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。

紅外氣體傳感器產(chǎn)品特性