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超高真空多腔體磁控濺射系統(tǒng)

QBT-MP

直接聯(lián)系

廈門韞茂科技有限公司

福建

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價：

面議

品牌：

韞茂科技

型號：

QBT-MP

關(guān)注度：

3297

創(chuàng)新點：

廈門韞茂科技有限公司憑借在先進材料設(shè)備業(yè)務(wù)方面多年的經(jīng)驗，韞茂為新型芯片，半導(dǎo)體和鋰電池領(lǐng)域的新材料開發(fā)和生產(chǎn)，提供最先進的納米工藝設(shè)備和服務(wù)解決方案。根據(jù)您的特殊需求，我們?yōu)槟ㄖ拼蛟靹?chuàng)新納米加工平臺，保證高品質(zhì)的設(shè)計，多功能，易于使用的界面，嚴(yán)格的安全控制，以及快速的交付和服務(wù)。

產(chǎn)品介紹

超高真空多腔體磁控濺射系統(tǒng)

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技術(shù)參數(shù)：


基板：可加熱至RT-900oC，可旋轉(zhuǎn)，基板與靶材距離連續(xù)可調(diào)，晶圓和靶空間可以連續(xù)變化

極限真空：<3E-9Torr

基板傳輸：高度可靠和可重復(fù)的基板傳輸能力



產(chǎn)品咨詢

超高真空多腔體磁控濺射系統(tǒng)

QBT-MP

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超高真空多腔體磁控濺射系統(tǒng) - 3297
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