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高真空磁控濺射系統(tǒng)

PVD-100

直接聯(lián)系

廈門韞茂科技有限公司

福建

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價：

面議

品牌：

韞茂科技

型號：

PVD-100

關注度：

2034

創(chuàng)新點：

廈門韞茂科技有限公司憑借在先進材料設備業(yè)務方面多年的經(jīng)驗，韞茂為新型芯片，半導體和鋰電池領域的新材料開發(fā)和生產(chǎn)，提供最先進的納米工藝設備和服務解決方案。根據(jù)您的特殊需求，我們?yōu)槟ㄖ拼蛟靹?chuàng)新納米加工平臺，保證高品質的設計，多功能，易于使用的界面，嚴格的安全控制，以及快速的交付和服務。


產(chǎn)品介紹

高真空磁控濺射系統(tǒng)

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技術參數(shù)：

1高真空腔體：2個腔體,包括負荷鎖及Sputtering,極限真空，極限壓力<5e-9 Torr

2排氣速率：從ATM到1E-7 Torr<20分鐘(負載鎖)

3樣品臺：**4寸Wafer，可加熱RT-300oC







產(chǎn)品咨詢

高真空磁控濺射系統(tǒng)

PVD-100

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