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儀器簡介：

應用：

◆半導體、研究所等需要用到晶圓分揀的單位。

技術參數(shù)：

Genmark 公司的Sort-Max是一種快速、穩(wěn)定、潔凈的晶圓分揀器。Sort-Max可以適用于100mm~300mm的晶圓或光罩。它的功能包括分揀、檢查、lot分離、儲存、合并、ID掃描和FOUP平衡等。

主要特點：

◆快速、穩(wěn)定、潔凈；

◆可定制化；

◆吞吐量高；

◆自我調節(jié)。