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團(tuán)簇式OLED真空蒸鍍工藝裝備

團(tuán)簇式OLED真空蒸鍍工藝裝備

直接聯(lián)系

鵬城微納技術(shù)（沈陽）有限公司

沈陽

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價：

面議

品牌：

鵬城微納

型號：

團(tuán)簇式OLED真空蒸鍍工藝裝備

關(guān)注度：

625

產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品詳情

團(tuán)簇式OLED真空蒸鍍工藝裝備是自主“OLED真空蒸鍍工藝裝備”，是“卡脖子”的35項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)的第六項(xiàng)。項(xiàng)目技術(shù)團(tuán)隊(duì)已完成G1(1代線) 和G2.5（2.5代線）的研發(fā)設(shè)計和生產(chǎn)制造。

項(xiàng)目技術(shù)團(tuán)隊(duì)已經(jīng)解決了大部分關(guān)鍵技術(shù)問題（如：源爐技術(shù)、精準(zhǔn)對位技術(shù)（對位精度達(dá)到1.5μm）、精密蒸鍍電源技術(shù)、原位膜厚測量技術(shù)、高真空傳遞機(jī)械手、電控系統(tǒng)及自動化控制軟件等）。

公司可對外承接OLED的G1和 G2.5工藝線的設(shè)計制造。


技術(shù)指標(biāo)

 指標(biāo)參數(shù) 
 對位精度 CCD精密對位≤1.5 υm，機(jī)械對位≤150 υm
 膜厚均勻性和重復(fù) ±2%
 總體技術(shù)路線 采用Cluster方案
 工藝流程 設(shè)計-審核-外協(xié)-組裝-電氣安裝-調(diào)試-出廠


設(shè)備構(gòu)成




應(yīng)用領(lǐng)域

可廣泛用于OLED器件開發(fā)、量子點(diǎn)開發(fā)、薄膜太陽能電池器件研發(fā)、OLED微顯示的研發(fā)和生產(chǎn)、OLED材料驗(yàn)證、VR（Micro-oled虛擬現(xiàn)實(shí)）、OLED照明等。


產(chǎn)品咨詢

團(tuán)簇式OLED真空蒸鍍工藝裝備

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