槽式去膠單元——在槽式單元中使用藥液浸泡晶圓，該槽體一次可容納多片晶圓以提高產(chǎn)能。

單片去膠腔體——將藥液噴灑在旋轉(zhuǎn)晶圓表面，更好地獨立控制每片晶圓工藝。

主要優(yōu)勢

使用便捷

精確的藥液控制

槽式單元預(yù)浸泡工藝

藥液回收使用可減少成本

優(yōu)化安全配置

結(jié)合先進的晶圓清洗工藝

多層過濾功能

特性和規(guī)格

兼容8吋和12吋晶圓

配有浸泡槽體

配有單片去膠腔體，包括：
　　　　a.*多可配至5種藥液進行雙面清洗工藝
　　　　b.*多可回收2種藥液
　　　　c.單片腔體可搭載空間交變相位移兆聲波(SAPS)組件
　　　　d.可選配有高壓solvent/DIW噴洗