主要優(yōu)勢(shì)

具有高產(chǎn)、可靠和穩(wěn)定的性能。通過(guò)高精度的溫度控制技術(shù)、良好的均勻性和小顆粒控制，來(lái)保持優(yōu)異的薄膜質(zhì)量；

通過(guò)更高性能的增強(qiáng)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)能，并減少停機(jī)維護(hù)時(shí)間；

運(yùn)用氣體對(duì)腔體進(jìn)行干法清洗，來(lái)控制小顆粒雜質(zhì)；

裝載區(qū)運(yùn)用低氧控制技術(shù)以抑制晶圓表面的自然氧化。

特性和規(guī)格

可以一次性操作裝載的晶圓數(shù)量為50-125片（晶圓/批）

可配備快速升降溫控制系統(tǒng)

腔體原位干法清洗系統(tǒng)

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立式爐設(shè)備

盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司

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