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濕法刻蝕設(shè)備

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直接聯(lián)系

盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司

美國

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

盛美半導(dǎo)體

型號(hào)：

濕法刻蝕設(shè)備

關(guān)注度：

820

產(chǎn)品介紹

智能工序功能 - 對(duì)于不同的金屬腐蝕工藝，如銅刻蝕后再進(jìn)行鈦刻蝕，可預(yù)設(shè)工藝菜單與工序后，在設(shè)備中一次完成。
 

主要優(yōu)勢(shì)

先進(jìn)的噴嘴掃描系統(tǒng)

精確的藥液控制

藥液回收使用可減少成本

專注安全性


特性和規(guī)格

兼容8寸和12寸晶圓

*多可配至4個(gè)單片腔體

*多可配至5種藥液進(jìn)行雙面清洗工藝

*多可回收2種藥液


產(chǎn)品咨詢

濕法刻蝕設(shè)備

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盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司

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濕法刻蝕設(shè)備 - 820
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