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AFMinSEM針尖電子束光刻與掃描電子顯微鏡組合系統(tǒng)

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深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司

德國

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產(chǎn)品詳情

ParcanNano 針尖技術(shù)與掃描電子顯微鏡組合系統(tǒng)

簡介:

公司以全球****的針尖技術(shù)為核心競爭力,技術(shù)源自于德國伊爾默瑙工業(yè)大學(xué),致力于主動(dòng)式針尖技術(shù)在微納米結(jié)構(gòu)制備和表征方面的研發(fā),及其相關(guān)設(shè)備的產(chǎn)業(yè)化。

公司開發(fā)的針尖技術(shù)模塊為滿足高精度成像而空間受限的應(yīng)用需求而設(shè)計(jì),既可以在大氣環(huán)境下實(shí)現(xiàn)樣品快速表征,也可以集成在真空環(huán)境中,如集成在掃描電子顯微鏡(SEM)中。無需對(duì)SEM腔室進(jìn)行任何改造,保留SEM原有功能,賦予嶄新的應(yīng)用領(lǐng)域,例如進(jìn)行原位形貌表征、微操作和針尖誘導(dǎo)沉積。

技術(shù)特點(diǎn):

。不影響掃描電鏡自身功能

。4mm電鏡工作距離

。 原子力、電子束及離子束功能聯(lián)用

。 標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)法蘭接口,方便安裝

。 大氣、真空環(huán)境操作

。 體積小,重量輕,靈活

。樣品可掃范圍大 20 x 20 mm

。 自激發(fā)自傳感智能針尖

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