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MDPinline晶圓片在線面掃檢測儀

直接聯系

束蘊儀器(上海)有限公司

德國

產品規(guī)格型號
參考報價:

面議

關注度:

579

產品介紹

MDPinline是一種用于快速定量測量載流子壽命并集成掃描功能的檢測儀。通過工廠安裝的傳送帶將晶圓片移至儀器,在不到一秒的時間內,就可以“動態(tài)”測量出晶圓圖。

優(yōu)勢介紹:一秒一片!可集成在生產線上的高速晶圓載流子壽命的面掃測試,在不到一秒內就能形成單個硅片的二維圖像。

該儀器本身不使用機械運動部件,因此在連續(xù)操作下也非常可靠。它為每個晶圓片提供完整的拓撲結構,這為提高生產線的成本效益和效率提供了新的途徑,而這些都是迄今為止無可比擬的。例如,在不到3個小時的時間內,對10000個晶圓片的拓撲結構進行自動統(tǒng)計評估,結果可以顯示出晶體生長爐的性能和材料質量的各種細節(jié)。

實時的質量檢測可以幫助提高和優(yōu)化諸如擴散和鈍化等處理步驟。在運行的生產過程中,MDPinline可以立即檢測到某個處理步驟的任何故障,從而使產品達到的性能。

優(yōu)勢介紹

◆ 在不到一秒的時間內,可對一個晶圓片進行全電特性測試。測量參數:載流子壽命(拓撲圖)、電阻率(雙線掃描)。

◆在非常短的時間內獲得數以千計的晶圓片的統(tǒng)計信息可有效地幫助晶圓廠控制過程和生產。

◆適用于測量晶圓片的材料質量,以及識別晶圓片層面的結晶問題,例如在光伏行業(yè)。

◆適用于擴散過程的完整性控制、鈍化效率和均勻性控制。

技術參數

樣品厚度

100 μm up to 1 mm

樣品尺寸

在125 x 125 和210 x 210 mm2 之間,或 4”到18”

電阻率

0.2 - 103 Ohm cm

傳導類型

p, n

材質

硅晶圓,部分或完全加工的晶圓片,復合半導體等

測量性能

少數載流子壽命(穩(wěn)態(tài)或非平衡(μ-PCD)可選擇的)

測量位置

默認2.8 mm, 其它可選

檢測時間

獲得完整的一張晶圓圖時間小于1秒

尺寸

400 x 400 x 450 mm,重量:29 kg

電源

24 V DC, 4 A

其它細節(jié)

· 允許單片控制

· 參數自動設置,預定義的排序菜單

· 多達15個質量等級的晶圓片自動分揀

· 監(jiān)控材料質量、工藝的完整性和穩(wěn)定性

· 快速提升工藝和生產線

產品咨詢

MDPinline晶圓片在線面掃檢測儀

束蘊儀器(上海)有限公司

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