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桌面單點(diǎn)測量▼

低成本的臺式少子壽命測量系統(tǒng)，對不同制備階段的硅材料電學(xué)參數(shù)進(jìn)行表征。沒有內(nèi)置自動化?？蛇x配手動z軸，用于厚度在156毫米以下的晶錠。

MDPspot可配電阻率測試選項，常規(guī)僅適用于硅，也可用于沒有高度調(diào)整可能性的晶圓片以及晶錠，不過需對這兩個選項之一進(jìn)行預(yù)定義。

MDPspot配備結(jié)果可視化的標(biāo)準(zhǔn)軟件。

設(shè)備特性▼

l 無接觸和非破壞的電學(xué)參數(shù)測試

l 對外延工藝監(jiān)控和不可見缺陷檢測，具有可視化測試的較高分辨率

l 對于不同級別晶圓片，提供不同的菜單選項

產(chǎn)品優(yōu)勢▼

l 用于不同制備階段，從成體到*終器件，多晶硅或單晶硅單點(diǎn)測量載流子壽命的臺式裝置。

l 體積小，成本低，使用方便。擁有一個基本的軟件，結(jié)果可視化。

l 適用于晶圓片到晶錠，易于高度調(diào)整。

技術(shù)參數(shù)▼