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橢圓偏光膜厚測(cè)量?jī)x（手動(dòng)）

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上海瞬渺光電技術(shù)有限公司

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產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品特點(diǎn)：

? 400波長(zhǎng)以上多通道分光的橢偏儀，高速測(cè)量橢圓偏光光譜。

? 自動(dòng)變更反射測(cè)量角度，可得到更詳細(xì)的薄膜解析數(shù)據(jù)。

? 采用正弦桿自動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式，展現(xiàn)測(cè)量角度變更時(shí)優(yōu)異的移動(dòng)精度。

? 搭載薄膜分析所需的全角度同時(shí)測(cè)量功能。

? 可測(cè)量晶圓與金屬表面的光學(xué)常數(shù)(n:折射率、k:消光系數(shù))。

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橢圓偏光膜厚測(cè)量?jī)x（手動(dòng)）

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