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產(chǎn)品特點(diǎn)：

? 橢圓偏振術(shù)測量紫外光到可見光波長橢圓參數(shù)。

? 0.1nm以上奈米級(jí)光學(xué)薄膜厚度測量。

? 400波長以上多通道分光的橢偏儀，高速測量橢圓偏光光譜。

? 可自由變換反射測量角度，得到更詳細(xì)的薄膜解析數(shù)據(jù)。

? 非線性*小平方法解析多層膜、光學(xué)常數(shù)。

產(chǎn)品規(guī)格：

應(yīng)用范圍：

■半導(dǎo)體晶圓?電晶體閘極(Gate)氧化薄膜、氮化膜，電極材料等?SiO 2、SixOy、SiN、SiON、SiNx、Al 2 O 2、SiNxOy、poly-Si、ZnSe、BPSG、TiN?光阻劑光學(xué)常數(shù)(波長色散)■化合物半導(dǎo)體?AlxGa (1-x) As多層膜、非結(jié)晶矽■平面顯示器?配向膜?電漿顯示器用ITO、MgO等■新材料?類鉆碳薄膜(DLC膜)、超傳導(dǎo)性薄膜、磁頭薄膜■光學(xué)薄膜?TiO 2、SiO 2、多層膜、抗反射膜、反射膜■平版印刷領(lǐng)域?g線(436nm)、h線(405nm)、i線(365nm)、KrF(248nm)等于各波長的n、k值評(píng)價(jià)

應(yīng)用范例：

非線性*小平方法比對(duì)NIST標(biāo)準(zhǔn)樣品(SiO 2)膜厚精度確認(rèn)