&

電子束蒸發(fā)設(shè)備—E-Beam-UHV

直接聯(lián)系

合肥致真精密設(shè)備有限公司

安徽

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

致真精密

型號(hào)：

電子束蒸發(fā)設(shè)備—E-Beam-UHV

關(guān)注度：

620

產(chǎn)品介紹

電子束蒸發(fā)設(shè)備可以在高真空和超高真空環(huán)境下實(shí)現(xiàn)精確的多層薄膜制備。線(xiàn)性電子束槍可以實(shí)現(xiàn)多種材料的蒸發(fā)。設(shè)備可選配考夫曼離子源實(shí)現(xiàn)晶圓的預(yù)清洗，可用于超導(dǎo)量子等領(lǐng)域，適用于高校及企業(yè)研發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)場(chǎng)合。

性能參數(shù)

晶圓尺寸	4inch~8inch
極限真空	優(yōu)于1×10-9mbar
溫控	RT-800℃
電子束槍	超高真空線(xiàn)性運(yùn)動(dòng)電子束槍?zhuān)蛇x配坩堝數(shù)量和容量（標(biāo)配，10KW，6×15cc）
晶圓清洗	可選配考夫曼離子源實(shí)現(xiàn)晶圓清洗
清洗均勻性	例：4inch晶圓優(yōu)于±3%
控制系統(tǒng)	PC+PLC，全自動(dòng)操作與安全互鎖
樣品臺(tái)	180度傾斜，360度旋轉(zhuǎn)，可選升降與偏壓
膜厚測(cè)量	膜厚儀，可伸縮
占地面積	3m L2m W2m H
可選	低溫泵、自動(dòng)傳輸、工藝菜單等

產(chǎn)品咨詢(xún)

電子束蒸發(fā)設(shè)備—E-Beam-UHV

請(qǐng)?zhí)顚?xiě)您的姓名：*

請(qǐng)?zhí)顚?xiě)您的電話(huà)：*

請(qǐng)?zhí)顚?xiě)您的郵箱：*

請(qǐng)?zhí)顚?xiě)您的單位/公司名稱(chēng)：*

請(qǐng)?zhí)岢瞿膯?wèn)題：*

您需要的服務(wù)：

詢(xún)盤(pán)報(bào)價(jià)、價(jià)格查詢(xún)

發(fā)送產(chǎn)品資料

與您電話(huà)聯(lián)系

發(fā)送

中國(guó)粉體網(wǎng)保護(hù)您的隱私權(quán)：請(qǐng)參閱我們的保密政策來(lái)了解您數(shù)據(jù)的處理以及您這方面享有的權(quán)利。您繼續(xù)訪(fǎng)問(wèn)我們的網(wǎng)站，表明您接受我們的使用條款

久久综合久久美利坚中国_中曰韩无码视频_久久97久久97精品免视看_黄网址免费永久在线观看免费