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電子束蒸發(fā)設(shè)備—E-Beam-HV

直接聯(lián)系

合肥致真精密設(shè)備有限公司

安徽

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

致真精密

型號(hào)：

電子束蒸發(fā)設(shè)備—E-Beam-HV

關(guān)注度：

672

產(chǎn)品介紹

電子束蒸發(fā)設(shè)備可以在高真空和超高真空環(huán)境下實(shí)現(xiàn)精確的多層薄膜制備。線(xiàn)性電子束槍可以實(shí)現(xiàn)多種材料的蒸發(fā)。設(shè)備可選配考夫曼離子源實(shí)現(xiàn)晶圓的預(yù)清洗，可用于超導(dǎo)量子等領(lǐng)域，適用于高校及企業(yè)研發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)場(chǎng)合。

性能參數(shù)

晶圓尺寸	4inch~8inch
極限真空	優(yōu)于1×10-7mbar
溫控	RT-800℃
電子束槍	多坩堝旋轉(zhuǎn)電子束槍?zhuān)蛇x配坩堝數(shù)量和容量（標(biāo)配，10KW，8×20cc）

六大特色懂你所需

企業(yè)/高校性能之選

測(cè)試案列

隨著超導(dǎo)量子計(jì)算的發(fā)展，高校實(shí)驗(yàn)室和企業(yè)對(duì)于超導(dǎo)量子電路的核心器件——約瑟夫森結(jié)有著極高的制備要求。該設(shè)備可專(zhuān)門(mén)用于制備Al基、Nb基等各類(lèi)約瑟夫森結(jié)，以下是制備的約瑟夫森結(jié)的光學(xué)照像。