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>HMPS-2080SP微波等離子體(CVD)系統(tǒng)

HMPS-2080SP微波等離子體(CVD)系統(tǒng)

HMPS-2080SP微波等離子體(CVD)系統(tǒng)

直接聯(lián)系

成都沃特塞恩電子技術(shù)有限公司

四川

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

沃特塞恩

型號(hào)：

HMPS-2080SP微波等離子體(CVD)系統(tǒng)

關(guān)注度：

561

產(chǎn)品介紹

技術(shù)參數(shù)

（1）型號(hào)HMPS-2080SP
（2）電源AC380±10% V 三相五線制 50Hz，額定輸入＜18KVA
（3）微波輸出功率0.1~8kW 連續(xù)可調(diào)
（4）功率穩(wěn)定度 1%（@穩(wěn)態(tài)）
（5）紋波≤1%
（6）微波頻率  2450MHz±50MHz
（7）測(cè)溫方式    紅外300~1400℃
（8）極限真空度≤3.7×10-3Torr
（9）工作壓力  5torr~225torr
（10）放電區(qū)Φ≥70mm
（11）均勻沉積區(qū)≥68mm
（12）工作氣體

H2 /CH4  /N2  /O2 或CO2 或Ar ,可擴(kuò)展為5路

（13）氦質(zhì)譜真空漏率≤1.0×10-9Pa·m3/s；
（14）工作環(huán)境溫度15-40℃，相對(duì)濕度≤60%，無腐蝕性氣體


產(chǎn)品咨詢

HMPS-2080SP微波等離子體(CVD)系統(tǒng)

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