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>W-180A-10K 微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

W-180A-10K 微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

W-180A-10K 微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

直接聯(lián)系

鉑世光（上海）技術(shù)有限公司

上海

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

鉑世光

型號(hào)：

W-180A-10K 微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

關(guān)注度：

518

產(chǎn)品介紹

系統(tǒng)參數(shù)：

型號(hào)

W-180系列


供電電源

AC380±10% 三相五線制 50Hz/60Hz


系統(tǒng)總功率

14KW


微波輸出功率

2－10KW


微波工作頻率

2.45GHz


反應(yīng)腔

不銹鋼諧振腔


整機(jī)真空氣密性

≤1.33×10-10 Pa·m3/s (≤1×10-9 Torr L/s）


沉積臺(tái)類型

水冷式沉積臺(tái)


有效沉積面積

**沉積面積Ф≥3英吋（76mm）


工作壓力范圍

1－32Kpa （10Torr－220Torr）


自動(dòng)壓力控制精度

±15 Pa (≈0.12 Torr)


真空泵抽速

旋轉(zhuǎn)真空油泵（30m3/h）


標(biāo)準(zhǔn)氣路

五路MFC氣路（可選配）


微波泄漏功率密度

≤1mw/cm2


控制系統(tǒng)

PDS-MPCVD控制系統(tǒng)


觀察窗

ICF70 4個(gè)，ICF34 4個(gè)


運(yùn)行工作環(huán)境

恒溫20℃-24℃
相對(duì)濕度20%~70%（無(wú)凝露、無(wú)腐蝕性氣體）



冷卻水流量

＜41 L/min流量可調(diào)
進(jìn)水/回水壓差：≥0.42 M Pa



系統(tǒng)重量

500±5KG



產(chǎn)品咨詢

W-180A-10K 微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

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